Sensers tal-pressjoni tas-semikondutturi jistgħu jinqasmu f'żewġ kategoriji, wieħed huwa bbażat fuq il-prinċipju li l-karatteristiċi i-υna ta 'semikondutturi PN junction (jew Schottky Junction) jinbidlu taħt l-istress. Il-prestazzjoni ta 'dan l-element sensittiv għall-pressjoni hija instabbli ħafna u ma ġietx żviluppata ħafna. L-ieħor huwa s-senser ibbażat fuq effett pjeżoreżistiku tas-semikondutturi, li huwa l-varjetà ewlenija ta 'sensur tal-pressjoni tas-semikondutturi. Fil-jiem bikrija, il-gauges tar-razza tas-semikondutturi kienu l-aktar imwaħħlin ma 'elementi elastiċi biex jagħmlu diversi strumenti ta' kejl ta 'tensjoni u razza. Fis-snin 1960, bl-iżvilupp ta 'teknoloġija taċ-ċirkwit integrat tas-semikondutturi, deher sensur tal-pressjoni tas-semikondutturi b'reżistenza ta' diffużjoni hekk kif deher element pjeżoreżistiku. Dan it-tip ta 'senser tal-pressjoni għandu struttura sempliċi u affidabbli, l-ebda partijiet relattivi li jiċċaqilqu, u l-element sensittiv għall-pressjoni u l-element elastiku tas-senser huma integrati, li jevita dewmien mekkaniku u creep u jtejjeb il-prestazzjoni tas-senser.

L-effett pjeżoreżistiku tas-semikondutturi tas-semikondutturi għandu karatteristika relatata mal-forza esterna, jiġifieri, ir-reżistività (irrappreżentata mis-simbolu ρ) tinbidel bl-istress li ġġorr, li jissejjaħ effett pjeżoreżistiku. Il-bidla relattiva tar-reżistività taħt l-azzjoni ta 'stress ta' unità tissejjaħ koeffiċjent pjeżoreżistiku, li huwa espress mis-simbolu π. Espress matematikament bħala ρ / ρ = π σ.

Fejn σ tirrappreżenta l-istress. Il-bidla tal-valur tar-reżistenza (R / R) ikkawżata mir-reżistenza tas-semikondutturi taħt l-istress hija determinata prinċipalment mill-bidla tar-reżistività, u għalhekk l-espressjoni ta 'effett pjeżoreżistiku tista' wkoll tinkiteb bħala R / R = πσ.

Taħt l-azzjoni ta 'forza esterna, ċertu stress (σ) u razza (ε) huma ġġenerati fi kristalli semikondutturi, u r-relazzjoni bejniethom hija determinata mill-modulus ta' Young (y) tal-materjal, jiġifieri, y = σ / ε.

Jekk l-effett pjeżoreżistiku huwa espress mir-razza fuq is-semikondutturi, huwa r / r = gε.

G jissejjaħ il-fattur ta 'sensittività tas-senser tal-pressjoni, li jirrappreżenta l-bidla relattiva tal-valur tar-reżistenza taħt razza ta' unità.

Il-koeffiċjent pjeżoreżistiku jew il-fattur ta 'sensittività huwa l-parametru fiżiku bażiku ta' effett pjeżoreżistiku semikondutturi. Ir-relazzjoni bejniethom, l-istess bħar-relazzjoni bejn l-istress u r-razza, hija determinata mill-modulus tal-materjal taż-żgħażagħ, jiġifieri, g = π y.

Minħabba l-anisotropija ta 'kristalli tas-semikondutturi fl-elastiċità, il-modulus ta' Young u l-koeffiċjent pjeżoreżistiku jinbidlu bl-orjentazzjoni tal-kristall. Il-kobor ta 'l-effett pjeżoreżistiku tas-semikondutturi huwa wkoll relatat mill-qrib mar-reżistività tas-semikondutturi. Iktar ma tkun baxxa r-reżistività, iktar ikun żgħir il-fattur ta 'sensittività. L-effett pjeżoreżistiku tar-reżistenza għat-tixrid huwa determinat mill-orjentazzjoni tal-kristall u l-konċentrazzjoni ta 'impurità ta' reżistenza għad-diffużjoni. Il-konċentrazzjoni ta 'impurità tirreferi prinċipalment għall-konċentrazzjoni ta' impurità tal-wiċċ tas-saff ta 'diffużjoni.