Struttura tas-Sensor Piezoresistive

F'dan is-sensor, l-istrixxa tar-reżistenza hija integrata fuq id-dijaframma tas-silikon monokristallin permezz ta 'proċess ta' integrazzjoni biex tagħmel ċippa piezoresistiva tas-silikon, u l-periferija ta 'din iċ-ċippa hija ppakkjata b'mod fiss fil-qoxra, u ċ-ċomb tal-elettrodu jitmexxa 'l barra. Senser tal-pressjoni piezoresistive, magħruf ukoll bħala sensur tal-pressjoni ta 'stat solidu, huwa differenti minn strain gauge adeżiv, li jeħtieġ li jħossu l-forza esterna indirettament permezz ta' elementi sensittivi elastiċi, iżda direttament iħoss il-pressjoni mkejla permezz tad-dijaframma tas-silikon.

Naħa waħda tad-dijaframma tas-silikon hija kavità bi pressjoni għolja li tikkomunika mal-pressjoni mkejla, u n-naħa l-oħra hija kavità bi pressjoni baxxa li tikkomunika mal-atmosfera. Ġeneralment, id-dijaframma tas-silikon hija ddisinjata bħala ċirku b'periferija fissa, u l-proporzjon tad-dijametru mal-ħxuna huwa madwar 20 ~ 60. Erba 'strixxi ta' reżistenza għall-impurità P huma mxerrda lokalment fuq id-dijaframma ċirkolari tas-silikon u konnessi f'pont sħiħ, li tnejn minnhom huma fiż-żona ta 'tensjoni kompressiva u t-tnejn l-oħra huma fiż-żona tat-tensjoni tat-tensjoni, li huma simetriċi fir-rigward taċ-ċentru tad-dijaframma.

Barra minn hekk, hemm ukoll dijaframma kwadra tas-silikon u sensur tal-kolonna tas-silikon. Is-sensor ċilindriku tas-silikon huwa wkoll magħmul minn strixxi reżistenti permezz ta 'diffużjoni f'ċerta direzzjoni ta' pjan kristall taċ-ċilindru tas-silikon, u żewġ strixxi reżistenti għat-tensjoni tat-tensjoni u żewġ strixxi reżistenti għall-istress kompressiv jiffurmaw pont sħiħ.

Sensor piezoresistive huwa mezz magħmul minn reżistenza għad-diffużjoni fuq is-sottostrat ta 'materjal semikonduttur skond l-effett piezoresistive ta' materjal semikonduttur. Is-sottostrat tiegħu jista 'jintuża direttament bħala sensor tal-kejl, u r-reżistenza tad-diffużjoni hija konnessa fis-sottostrat fil-forma ta' pont.

Meta s-sottostrat jiġi deformat minn forza esterna, il-valuri tar-reżistenza jinbidlu u l-pont jipproduċi output żbilanċjat korrispondenti. Is-sottostrati (jew dijaframmi) użati bħala sensuri piezoresistive huma prinċipalment wejfers tas-silikon u wejfers tal-ġermanju. Sensuri pjeżoresistivi tas-silikon magħmulin minn wejfers tas-silikon bħala materjali sensittivi ġibdu aktar u aktar attenzjoni, speċjalment is-sensuri piezoresistive ta 'stat solidu għall-kejl tal-pressjoni u l-veloċità huma l-aktar użati.