Struttura ta 'Sensor Piezoresistive

F'dan is-senser, l-istrixxa tar-resister hija integrata fuq id-dijaframma tas-silikon monokristallin permezz ta 'proċess ta' integrazzjoni biex tagħmel ċippa pjeżoreżistika tas-silikon, u l-periferija ta 'dan iċ-ċippa hija ppakkjata b'mod fiss fil-qoxra, u l-elettrodu jwassal. Senser tal-pressjoni pjeżoreżistika, magħruf ukoll bħala senser tal-pressjoni fi stat solidu, huwa differenti mill-manometru tar-razza li jwaħħal, li jeħtieġ li jħoss il-forza esterna indirettament permezz ta 'elementi sensittivi elastiċi, iżda jħoss direttament il-pressjoni mkejla permezz tad-dijaframma tas-silikon.

Naħa waħda tad-dijaframma tas-silikon hija kavità bi pressjoni għolja li tikkomunika mal-pressjoni mkejla, u n-naħa l-oħra hija kavità bi pressjoni baxxa li tikkomunika mal-atmosfera. Ġeneralment, id-dijaframma tas-silikon hija ddisinjata bħala ċirku b'periferija fissa, u l-proporzjon tad-dijametru għall-ħxuna huwa ta 'madwar 20 ~ 60. Erba' strixxi tar-reżistenza għall-impurità P huma mxerrda lokalment fuq id-dijaframma tas-silikon ċirkolari u mqabbda f'pont sħiħ, tnejn minnhom huma fiż-żona ta 'tensjoni kompressiva u t-tnejn l-oħra huma fiż-żona ta' tensjoni, li huma simboliċi b'rispett.

Barra minn hekk, hemm ukoll dijaframma tas-silikon kwadru u sensur tal-kolonna tas-silikon. Is-senser ċilindriku tas-silikon huwa magħmul ukoll minn strixxi reżistivi permezz ta 'diffużjoni f'ċertu direzzjoni ta' pjan tal-kristall taċ-ċilindru tas-silikon, u żewġ strixxi reżistiċi tat-tensjoni tat-tensjoni u żewġ strixxi reżistivi ta 'tensjoni kompressiva jiffurmaw pont sħiħ.

Senser pjeżoreżistiku huwa apparat magħmul minn reżistenza għat-tixrid fuq is-sottostrat ta 'materjal semikonduttur skond l-effett pjeżoreżistiku ta' materjal semikonduttur. Is-sottostrat tiegħu jista 'jintuża direttament bħala senser tal-kejl, u r-reżistenza għad-diffużjoni hija konnessa fis-sottostrat fil-forma ta' pont.

Meta s-sottostrat jiġi deformat mill-forza esterna, il-valuri tar-reżistenza jinbidlu u l-pont jipproduċi produzzjoni żbilanċjata korrispondenti. Is-substrati (jew id-dijaframmi) użati bħala sensuri pjeżoreżisti huma prinċipalment wejfers tas-silikon u wejfers tal-ġermanju. Sensers pjeżoreżistivi tas-silikon magħmulin minn wejfers tas-silikon hekk kif materjali sensittivi ġibdu aktar u aktar attenzjoni, speċjalment is-sensuri pjeżoreżisti ta 'stat solidu għall-kejl tal-pressjoni u l-veloċità huma l-aktar użati.