Sensor tal-pressjoni tal-magna 2CP3-68 1946725 għall-iskavatur Carter

Metodu għall-preparazzjoni ta' sensur tal-pressjoni, ikkaratterizzat li jinkludi l-passi li ġejjin:

S1, li tipprovdi wejfer b'wiċċ ta 'wara u wiċċ ta' quddiem; Li jiffurmaw strixxa piezoresistive u żona ta 'kuntatt ħafna drogata fuq il-wiċċ ta' quddiem tal-wejfer; Li tifforma kavità fil-fond tal-pressjoni bl-inċiżjoni tal-wiċċ ta 'wara tal-wejfer;

S2, twaħħil ta 'folja ta' appoġġ fuq in-naħa ta 'wara tal-wejfer;

S3, toqob taċ-ċomb tal-manifattura u wajers tal-metall fuq in-naħa ta 'quddiem tal-wejfer, u jgħaqqdu strixxi piezoresistive biex jiffurmaw pont Wheatstone;

S4, tiddepożita u tifforma saff ta 'passivazzjoni fuq il-wiċċ ta' quddiem tal-wejfer, u tiftaħ parti tas-saff ta 'passivazzjoni biex tifforma żona tal-kuxxinett tal-metall. 2. Il-metodu tal-manifattura tas-sensor tal-pressjoni skont it-talba 1, fejn S1 speċifikament jinkludi l-passi li ġejjin: S11: tipprovdi wejfer b'wiċċ ta 'wara u wiċċ ta' quddiem, u tiddefinixxi l-ħxuna ta 'film sensittiv għall-pressjoni fuq il-wejfer; S12: l-impjantazzjoni tal-jone tintuża fuq il-wiċċ ta 'quddiem tal-wejfer, strixxi piezoresistive huma manifatturati minn proċess ta' diffużjoni f'temperatura għolja, u r-reġjuni ta 'kuntatt huma drogati ħafna; S13: tiddepożita u tifforma saff protettiv fuq il-wiċċ ta 'quddiem tal-wejfer; S14: inċiżjoni u formazzjoni ta 'kavità fil-fond tal-pressjoni fuq in-naħa ta' wara tal-wejfer biex tifforma film sensittiv għall-pressjoni. 3. Il-metodu tal-manifattura tas-sensor tal-pressjoni skont it-talba 1, fejn il-wejfer huwa SOI.

Fl-1962, Tufte et al. manifatturat sensor tal-pressjoni piezoresistive bi strixxi piezoresistive tas-silikon imxerred u struttura tal-film tas-silikon għall-ewwel darba, u beda r-riċerka dwar is-sensor tal-pressjoni piezoresistive. Fl-aħħar tas-snin 60 u l-bidu tas-snin 70, id-dehra ta 'tliet teknoloġiji, jiġifieri, teknoloġija ta' inċiżjoni anisotropika tas-silikon, teknoloġija ta 'impjantazzjoni tal-jone u teknoloġija ta' twaħħil anodiku, ġabet bidliet kbar fis-sensorju tal-pressjoni, li kellu rwol importanti fit-titjib tal-prestazzjoni tas-senser tal-pressjoni. . Sa mill-1980, bl-iżvilupp ulterjuri tat-teknoloġija tal-mikromachining, bħal inċiżjoni anisotropika, litografija, doping tad-diffużjoni, impjantazzjoni tal-joni, twaħħil u kisi, id-daqs tas-sensor tal-pressjoni tnaqqas kontinwament, is-sensittività tjiebet, u l-output huwa għoli u il-prestazzjoni hija eċċellenti. Fl-istess ħin, l-iżvilupp u l-applikazzjoni ta 'teknoloġija ġdida ta' micromachining jagħmlu l-ħxuna tal-film tas-sensorju tal-pressjoni kkontrollata b'mod preċiż.