Sensor tal-Pressjoni tal-Magna 2CP3-68 1946725 Għal Carter Excavator

Metodu għall-preparazzjoni ta 'senser tal-pressjoni, ikkaratterizzat billi jinkludi l-passi li ġejjin:

S1, li tipprovdi wejfer b'wiċċ ta 'wara u wiċċ ta' quddiem; Tifforma strixxa pjeżoreżistiva u żona ta 'kuntatt doped ħafna fuq il-wiċċ ta' quddiem tal-wejfer; Li tifforma pressjoni fil-fond tal-kavità billi tinqata 'l-wiċċ ta' wara tal-wejfer;

S2, twaħħil folja ta 'appoġġ fuq wara tal-wejfer;

S3, toqob taċ-ċomb tal-manifattura u wajers tal-metall fuq in-naħa ta 'quddiem tal-wejfer, u li jgħaqqdu strixxi pjeżoreżistivi biex jiffurmaw pont ta' Wheatstone;

S4, li jiddepożita u jifforma saff ta 'passivazzjoni fuq il-wiċċ ta' quddiem tal-wejfer, u jiftaħ parti tas-saff tal-passivazzjoni biex jifforma żona tal-kuxxinett tal-metall. 2. Il-metodu tal-manifattura tas-senser tal-pressjoni skont it-talba 1, fejn S1 jinkludi speċifikament il-passi li ġejjin: S11: jipprovdi wejfer b'wiċċ ta 'wara u wiċċ ta' quddiem, u jiddefinixxi l-ħxuna ta 'film sensittiv għall-pressjoni fuq il-wejfer; S12: L-impjantazzjoni tal-joni tintuża fuq il-wiċċ ta 'quddiem tal-wejfer, strixxi pjeżoreżisti huma manifatturati minn proċess ta' diffużjoni ta 'temperatura għolja, u r-reġjuni ta' kuntatt huma doped ħafna; S13: Iddepożita u tifforma saff protettiv fuq il-wiċċ ta 'quddiem tal-wejfer; S14: Inċiżjoni u tifforma kavità fil-fond tal-pressjoni fuq wara tal-wejfer biex tifforma film sensittiv għall-pressjoni. 3. Il-metodu tal-manifattura tas-senser tal-pressjoni skont it-talba 1, fejn il-wejfer huwa SOI.

Fl-1962, Tufte et al. Manifatturat sensur tal-pressjoni pjeżoreżistika bi strixxi pjeżoreżisti tas-silikon imxerrda u struttura tal-films tas-silikon għall-ewwel darba, u bdiet ir-riċerka dwar is-sensur tal-pressjoni pjeżoreżistika. Fl-aħħar tas-snin 1960 u fil-bidu tas-snin sebgħin, id-dehra ta 'tliet teknoloġiji, jiġifieri, teknoloġija ta' inċiżjoni anisotropiċi tas-silikon, teknoloġija ta 'impjantazzjoni tal-joni u teknoloġija ta' twaħħil anodiċi, ġabet bidliet kbar għas-senser tal-pressjoni, li kellu rwol importanti fit-titjib tal-prestazzjoni tas-senser tal-pressjoni. Mill-1980s, bl-iżvilupp ulterjuri tat-teknoloġija tal-mikromachining, bħal inċiżjoni anisotropiċi, litografija, doping ta 'diffużjoni, impjantazzjoni tal-joni, twaħħil u kisi, id-daqs tas-senser tal-pressjoni tnaqqas kontinwament, is-sensittività ġiet imtejba, u l-produzzjoni hija għolja u l-prestazzjoni hija għolja u l-prestazzjoni hija eċċellenti. Fl-istess ħin, l-iżvilupp u l-applikazzjoni ta 'teknoloġija ġdida ta' mikromachining jagħmlu l-ħxuna tal-film tas-senser tal-pressjoni kkontrollat ​​b'mod preċiż.