Applikabbli għas-senser tal-pressjoni tal-ferrovija komuni tal-fjuwil Passat 06E906051K

1. Metodu għall-iffurmar ta' sensur tal-pressjoni, li jinkludi:

Provvista ta 'sottostrat semikonduttur, fejn l-ewwel saff dielettriku ta' bejn is-saff, l-ewwel saff dielettriku ta 'saff ta' bejn is-saff u t-tieni saff dielettriku ta 'saff ta' bejn is-saff huma ffurmati fuq is-sottostrat tas-semikondutturi.

Pjanċa ta 'elettrodu t'isfel fl-ewwel saff dielettriku ta' bejn is-saffi, l-ewwel elettrodu reċiproku li jinsab fuq l-istess saff bħall-pjanċa ta 'l-elettrodu t'isfel u spazjati minn xulxin.

Saffi ta' konnessjoni;

Li jiffurmaw saff ta 'sagrifiċċju 'l fuq mill-pjanċa polari t'isfel;

Li tifforma pjanċa tal-elettrodu ta 'fuq fuq l-ewwel saff dielettriku ta' bejn is-saffi, l-ewwel saff ta 'interkonnessjoni u s-saff tas-sagrifiċċju;

Wara li tifforma s-saff tas-sagrifiċċju u qabel ma tifforma l-pjanċa ta 'fuq, fl-ewwel saff ta' interkonnessjoni

Li tifforma kanal ta 'konnessjoni, u timla l-kanal tal-konnessjoni bil-pjanċa ta' fuq biex tikkonnettja elettrikament mal-ewwel saff ta 'interkonnessjoni;Jew,

Wara li tifforma l-pjanċa tal-elettrodu ta 'fuq, skanalaturi ta' konnessjoni huma ffurmati fil-pjanċa tal-elettrodu ta 'fuq u l-ewwel saff ta' interkonnessjoni, li

Li jifforma saff konduttiv li jgħaqqad il-pjanċa tal-elettrodu ta 'fuq u l-ewwel saff ta' interkonnessjoni fil-kanal tal-konnessjoni;

Wara li tgħaqqad elettrikament il-pjanċa ta 'fuq u l-ewwel saff ta' interkonnessjoni, tneħħi s-saff tas-sagrifiċċju biex tifforma kavità.

2. Il-metodu għall-iffurmar ta 'sensur tal-pressjoni skond it-talba 1, fejn fl-ewwel saff

Il-metodu għall-iffurmar tas-saff ta 'sagrifiċċju fuq is-saff dielettriku tas-saff ta' bejn is-saffi jinkludi l-passi li ġejjin:

Id-depożitu ta 'saff ta' materjal ta 'sagrifiċċju fuq l-ewwel saff dielettriku ta' bejn is-saffi;

Disinn tas-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju biex jifforma saff tas-sagrifiċċju.

3. Il-metodu għall-iffurmar tas-sensor tal-pressjoni skont it-talba 2, fejn jintużaw il-fotolitografija u l-inċiżjoni.

Is-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju huwa mfassal permezz ta 'proċess ta' inċiżjoni.

4. Il-metodu għall-iffurmar ta 'sensur tal-pressjoni skond it-talba 3, fejn is-saff tas-sagrifiċċju

Il-materjal huwa karbonju amorfu jew ġermanju.

5. Il-metodu għall-iffurmar ta 'sensur tal-pressjoni skond it-talba 4, fejn is-saff tas-sagrifiċċju

Il-materjal huwa karbonju amorfu;

Il-gassijiet tal-inċiżjoni użati fil-proċess tal-inċiżjoni tas-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju jinkludu O2, CO, N2 u Ar;

Il-parametri fil-proċess tal-inċiżjoni tas-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju huma: il-firxa tal-fluss ta 'O2 hija 18 SCCM ~ 22 SCCM, u r-rata tal-fluss ta' CO hija 10%.

Ir-rata tal-fluss tvarja minn 90 SCCM sa 110 SCCM, ir-rata tal-fluss ta 'N2 tvarja minn 90 SCCM sa 110 SCCM, u r-rata tal-fluss ta' Ar.

Il-firxa hija 90 SCCM ~ 110 SCCM, il-medda tal-pressjoni hija 90 mtor ~ 110 mtor, u l-qawwa tal-preġudizzju hija

540w~660w.