Applikabbli għas-Sensor tal-Pressjoni tal-Ferrovija Komuni tal-Fjuwil Passat 06E906051K

1. Metodu biex tifforma senser tal-pressjoni, li jinkludi:

L-għoti ta 'sottostrat tas-semikondutturi, fejn l-ewwel saff dielettriku bejn is-saffi, l-ewwel saff dielettriku interlayer u t-tieni saff dielettriku interlayer huma ffurmati fuq is-substrat tas-semikondutturi.

Pjanċa ta 'l-elettrodu aktar baxxa fl-ewwel saff dielettriku bejn is-saffi, l-ewwel elettrodu reċiproku li jinsab fuq l-istess saff bħall-pjanċa ta' l-elettrodu t'isfel u spazjat minn xulxin.

Konnessjoni tas-saffi;

Li tifforma saff ta 'sagrifiċċju' l fuq mill-pjanċa polari t'isfel;

Li tifforma pjanċa ta 'l-elettrodu ta' fuq fuq l-ewwel saff dielettriku ta 'interlayer, l-ewwel saff ta' interkonnessjoni u s-saff ta 'sagrifiċċju;

Wara li tifforma s-saff tas-sagrifiċċju u qabel ma tifforma l-pjanċa ta 'fuq, fl-ewwel saff ta' interkonnessjoni

Tifforma kanal ta 'konnessjoni, u timla l-kanal tal-konnessjoni mal-pjanċa ta' fuq biex tikkonnettja b'mod elettriku mas-saff tal-ewwel interkonnessjoni; Jew,

Wara li jiffurmaw il-pjanċa ta 'l-elettrodu ta' fuq, il-konnessjoni tal-iskanalaturi huma ffurmati fil-pjanċa ta 'fuq tal-elettrodu u l-ewwel saff ta' interkonnessjoni, li

Li jifforma saff konduttiv li jgħaqqad il-pjanċa ta 'l-elettrodu ta' fuq u l-ewwel saff ta 'interkonnessjoni fil-kanal tal-konnessjoni;

Wara li tgħaqqad elettrikament il-pjanċa ta 'fuq u l-ewwel saff ta' interkonnessjoni, tneħħi s-saff tas-sagrifiċċju biex tifforma kavità.

2. Il-metodu biex tifforma senser tal-pressjoni skont it-talba 1, fejn fl-ewwel saff

Il-metodu għall-iffurmar tas-saff tas-sagrifiċċju fuq is-saff dielettriku bejn is-saffi jinkludi l-passi li ġejjin:

Tiddepożita saff ta 'materjal ta' sagrifiċċju fuq l-ewwel saff dielettriku bejn is-saffi;

Tismu s-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju biex tifforma saff ta 'sagrifiċċju.

3. Il-metodu biex tifforma s-senser tal-pressjoni skont it-talba 2, fejn jintużaw fotolitografija u inċiżjoni.

Is-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju huwa mfassal bil-proċess tal-inċiżjoni.

4. Il-metodu biex tifforma senser tal-pressjoni skont it-talba 3, fejn is-saff tas-sagrifiċċju

Il-materjal huwa karbonju amorfu jew ġermanju.

5. Il-metodu biex tifforma senser tal-pressjoni skont it-talba 4, fejn is-saff tas-sagrifiċċju

Il-materjal huwa karbonju amorfu;

Il-gassijiet tal-inċiżjoni użati fil-proċess tal-inċiżjoni tas-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju jinkludu O2, CO, N2 u AR;

Il-parametri fil-proċess tal-inċiżjoni tas-saff tal-materjal tas-sagrifiċċju huma: il-firxa tal-fluss ta 'O2 hija ta' 18 sccm ~ 22 sccm, u r-rata tal-fluss ta 'CO hija ta' 10%.

Ir-rata tal-fluss tvarja minn 90 SCCM sa 110 SCCM, ir-rata tal-fluss ta 'N2 tvarja minn 90 SCCM sa 110 SCCM, u r-rata tal-fluss ta' AR.

Il-firxa hija 90 sccm ~ 110 sccm, il-firxa tal-pressjoni hija 90 mTOR ~ 110 mTOR, u l-qawwa tax-xaqlib hija

540W ～ 660W。