Is-senser tal-pressjoni tal-iskavatur huwa s-sensor l-aktar użat, huwa terminu ġenerali għall-iskoperta ta 'gass, likwidi, solidi u sustanzi oħra bejn l-enerġija tal-forza induttiva, tinkludi wkoll
Manometri li jkejlu l-pressjoni tal-arja fuq u gauges tal-vakwu li jkejlu l-pressjoni tal-arja taħt. Hemm ħafna tipi ta 'sensur tal-forza, il-metodu ta' kejl tradizzjonali huwa li tapplika d-deformazzjoni u l-ispostament ta 'elementi elastiċi biex jesprimu l-manutenzjoni tal-magna tal-injezzjoni elettrika, iżda l-volum tiegħu huwa kbir, goff, u l-output mhuwiex lineari. Bit-tkabbir tal-ħiliet tal-mikroelettronika, l-applikazzjoni ta 'materjali semikondutturi effett piezoresistive u elastiċità superjuri, l-iżvilupp ta' sensuri tal-forza tas-semikondutturi, piezoresistive tas-silikon importanti u capacitive tnejn, għandhom daqs żgħir, piż ħafif, vantaġġi ta 'sensittività għolja, tintuża ħafna fil-forza tas-semikondutturi sensuri. Meta semikonduttur jiġi enfasizzat 'il fuq fuq kristall, ir-reżistenza tiegħu tinbidel. Ir-relazzjoni bejn il-bidla tar-reżistività tal-konduttur u l-istress tissejjaħ l-effett piezoresistive tas-semikondutturi, u s-senser tal-kwantità mekkaniku magħmul minn dan l-effett jissejjaħ is-sensor tal-forza piezoresistive, li għandu żewġ tipi, wieħed huwa s-sensor magħmul mill-istrain gauge tas-semikondutturi pasted fuq il- element elastiku, li jissejjaħ is-sensor piezoresistive pasted. L-oħra hija r-reżistenza tad-diffużjoni magħmula minn teknoloġija ta 'ċirkwit integrat fuq is-sottostrat ta' materjal semikonduttur, sabiex l-istrain gauge u s-substrat tas-silikon jiffurmaw l-istess sensor sħiħ, imsejjaħ is-sensor piezoresistive tad-diffużjoni. Għandu l-karatteristiċi ta 'sensittività għolja, preċiżjoni għolja, daqs żgħir, piż ħafif, frekwenza għolja tax-xogħol, struttura sempliċi, xogħol affidabbli u ħajja twila.