Is-senser tal-pressjoni tal-excavator huwa s-senser l-iktar użat, huwa terminu ġenerali għall-iskoperta ta 'gass, likwidu, solidu u sustanzi oħra bejn l-enerġija tal-forza induttiva, tinkludi wkoll
Manometri li jkejlu l-pressjoni ta 'l-arja' l fuq u l-gauges tal-vakwu li jkejlu l-pressjoni ta 'l-arja hawn taħt. Hemm ħafna tipi ta 'senser tal-forza, il-metodu ta' kejl tradizzjonali huwa li tapplika d-deformazzjoni u l-ispostament ta 'elementi elastiċi biex tesprimi l-manutenzjoni ta' magna ta 'injezzjoni elettrika, iżda l-volum tagħha huwa kbir, diżastruż, u l-ħruġ mhuwiex lineari. Bit-tkabbir tal-ħiliet tal-mikroelettroniċi, l-applikazzjoni ta 'materjali semikondutturi b'effett pjeżoreżistiku u elastiċità superjuri, l-iżvilupp ta' sensuri tal-forza tas-semikondutturi, importanti u kapaċitattivi tas-silikon tas-silikon, għandhom daqs żgħir, piż ħafif, vantaġġi ta 'sensittività għolja, huma użati b'mod wiesa' f'sensers tal-forza semikondutturi. Meta semikonduttur jiġi enfasizzat 'il fuq fuq kristall, ir-reżistività tiegħu tinbidel. Ir-relazzjoni bejn il-bidla tar-reżistività tal-konduttur u l-istress hija msejħa l-effett pjeżoreżistiku tas-semikondutturi, u s-senser tal-kwantità mekkanika magħmula minn dan l-effett jissejjaħ is-senser tal-forza pjeżoreżistika, li għandu żewġ tipi, wieħed huwa s-senser magħmul mill-gauge tar-razza tas-semikondutturi mwaħħal fuq l-element elastiku, li jissejjaħ is-senser piezoresistiku. L-ieħor huwa r-reżistenza għad-diffużjoni magħmula minn teknoloġija ta 'ċirkwit integrat fuq is-sottostrat ta' materjal semikonduttur, sabiex il-manometru tar-razza u s-sottostrat tas-silikon jiffurmaw l-istess sensur sħiħ, imsejjaħ is-senser tal-pjeżoreżistika tad-diffużjoni. Għandu l-karatteristiċi ta 'sensittività għolja, preċiżjoni għolja, daqs żgħir, piż ħafif, frekwenza għolja tax-xogħol, struttura sempliċi, xogħol affidabbli u ħajja twila.